本报讯 （记者/综合报道） 半导体产业的“绿芯”难题迎来重大突破。近日，一座专注于解决芯片制造环节中一般工业固废的深度资源化利用工厂在上海正式建成并投入运营。该工厂由三六五废物处置中心建设，其核心亮点在于成功应用了硫酸铵废液蒸发浓缩结晶MVR（机械蒸汽再压缩）技术，实现对高纯度电子级硫酸铵的回收与综合利用。这标志着上海在构建高端制造业绿色循环体系、深化“无废城市”建设方面，迈出了至关重要的一步。

在半导体芯片的清洗、蚀刻等关键工序中，会产生大量的硫酸铵废液。这类废液若处置不当，易造成环境风险，同时其本身也蕴含着巨大的回收价值。传统的处理方式成本高且未能实现资源循环，成为困扰众多芯片制造企业的“老大难”问题。

此次投运的深度资源化工厂，精准地瞄准了这一产业痛点。其核心装备——MVR蒸发结晶系统，是一种高效节能的先进技术。该系统通过将二次蒸汽进行再压缩，充分利用其热能，大幅降低了将硫酸铵废液蒸发、浓缩并最终结晶为高纯度固体硫酸铵的能耗。

“这套系统的成功研发与应用，意味着我们能够将半导体工厂产生的硫酸铵废液，‘点石成金’般地转化为符合市场标准的优质硫酸铵产品，”三六五废物处置中心的技术总监介绍道，“回收后的硫酸铵晶体纯度极高，可作为工业原料重新回到市场，广泛用于化肥、化工等领域，真正实现了从‘废液’到‘产品’的闭环。”

该项目的落地，不仅为上海及长三角地区庞大的半导体产业链提供了不可或缺的环保配套，更带来了显著的环境与经济效益：

‍环境效益：从源头消除了危险废物的环境隐患，减少了固体废物的最终填埋量，并通过资源循环降低了整个社会的碳足迹。

经济效益：为芯片制造企业降低了高昂的危废处置成本，同时创造的再生资源产品带来了新的经济增长点。

战略效益：提升了高端制造业供应链的绿色韧性和可持续发展水平，为“中国芯”的制造注入了坚实的“绿色动能”。

业内专家评价，这座工厂的投运超越了传统的环保范畴，是“循环经济”理念在高技术制造业的生动实践。它成功地将环境保护与产业发展深度融合，为解决制约半导体等先进制造业发展的环保瓶颈提供了可复制、可推广的“上海方案”，标志着“无废城市”建设已从城市生活层面，深入到了支撑国民经济命脉的高精尖产业核心。