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晶圆芯片回收利用与销毁方案
浏览次数:414  发布时间:2025-04-27 

一、销毁处理方案

  1. 物理破坏法

    • 通过机械破碎、钻孔、切割等方式使晶圆芯片失去功能,适用于包含敏感信息的芯片销毁。先进设备如全密闭晶圆破碎机可实现每小时50公斤处理量,碎片尺寸控制至1.2mm以下

    • 优势:操作简单、成本低,且部分设备集成称重、打包功能,符合环保要求。

  2. 化学溶解法

    • 使用强酸、强碱溶解芯片中的金属成分,提取金、银、钯等贵金属(每吨芯片可提取约200克黄金),溶解后溶液需经专业处理避免污染。

    • 适用场景:需回收金属的销毁需求,但需严格管控化学试剂排放。

      高温焚烧法

    • 在高温(通常>1000℃)下焚烧芯片,分解有机物并熔融金属,分离后可回收金属材料。焚烧过程需配备废气处理系统以减少污染。

  3. 熔融回收法

    • 通过高温熔炼分离晶圆中的硅基材料和金属,硅纯度可达99.9999%,再生硅可用于光伏产业或低端芯片生产。

  4. 安全填埋

    • 对无法回收的有害物质进行无害化处理后填埋,需符合《中华人民共和国环境保护法》等法规要求。


二、回收利用方案

  1. 贵金属提取

    • 采用湿法冶金(酸浸提纯)或火法冶金(高温熔炼)技术,从废旧芯片中回收黄金、钯等贵金属,回收率可达80%以上。

  2. 硅基材料再生

    • 通过物理分选和化学提纯技术,将废弃晶圆中的硅材料再生为光伏级硅片或低端半导体材料,德国企业已实现80%的硅回收率

  3. 功能芯片再制造

    • 对存在制造缺陷的芯片进行修复或重新配置,延长产品生命周期,减少资源浪费6

  4. 材料分类再利用

    • 分离芯片中的塑料、金属等材料,塑料通过熔融再生为颗粒,金属则熔炼为新原料,日本《电子再生法》已推动此类循环经济模式


三、配套体系与创新技术

  • 环保法规支持‌:中国《电子产品污染控制法》强制要求企业合规处理电子废弃物,推动资源循环利用

  • 产业链协同‌:半导体企业、回收公司、政府共建回收体系,例如官方回收渠道保障隐私与环保

  • 技术创新‌:自动化分拣、生物降解技术提升处理效率,太阳能驱动设备减少能源消耗

以上方案兼顾环保与经济效益,可根据芯片类型、数据敏感性及资源价值综合选择组合方案。


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